無塵室潔凈工程的氣流主要分為三種，亂流式、層流式及復合式，前兩者都有各自的優(yōu)點及缺點，復合式是將前兩者結合在了一起，因此綜合了各自的優(yōu)點，彌補了缺點，是目前無塵室潔凈工程比較理想的氣流方式。

　　1.亂流式：氣流非直線型運動而呈現(xiàn)不規(guī)則之亂流或者渦流的狀態(tài)。

　　優(yōu)點：構造較為簡單、成本低，無塵室潔凈工程的擴充比較容易，在一些特殊場所，可配用無塵工作臺，提高潔凈室的等級。

　　缺點：微塵粒子受亂流影響在室內空間飄浮不容易排出，易污染成品。再就是如果系統(tǒng)停止運轉再此激活的話，要想達到同樣潔凈度，耗時相當長。

　　2.層流式

　　層流式空氣氣流運動成均勻直線型，空氣由覆蓋率100%之過濾器進入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。

　　其形式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風系統(tǒng)回風，塵埃隨風向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。

　　優(yōu)點：構造簡單，運轉后短時間內即可變成穩(wěn)定。

　　缺點：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。

　　優(yōu)點：管理容易，運轉開始短時間內即可達穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　　3.復合式：

　　復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣，是比較理想的無塵室潔凈工程氣流形式。